轮廓仪GT-X
自动化量规计量，用于研发和生产
突出了
轮廓仪GT-X
ContourGT-X 3D光学轮廓仪为实验室研究和生产过程控制提供最高性能的非接触表面测量。结合了十代白光干涉仪（WLI）的创新和设计，该计量系统在业界最大的视野范围内提供最高的垂直分辨率。主要功能包括全自动化和生产界面、大型机动XYZ工作台、头部倾斜/倾斜以及一体式空气隔离台。ContourGT-X专为满足最苛刻的研发、质量保证和过程质量控制需求而从头设计，具有终极的三维光学精度和鲁棒性。
完整的
自动化
提供最快、最简单的纳米尺度测量。
可定制的
生产接口
提供优化的流程工作流、自动化映射和负载测量方法。
自校准
激光参考
确保最佳的生产计量、可重复性和稳健性。
特征
生产准备设计和可靠性
ContourGT-X结合了Bruker的专利尖端/倾斜头、专利自校准激光参考、集成模式识别和一系列其他专利干涉测量创新，以高吞吐量提供极其精确的表面计量。该系统的自动化就绪配置可在几乎任何生产环境中实现快速优化，其功能包括用于提高X、Y、Z晶圆放置精度的气动台稳定器套件，用于集成的PDU、EMO和真空系统，以及用于自动装片机末端执行器兼容性的改进型真空卡盘。
高分辨率成像的高精度平台
ContourGT-X电动XY工作台在X和Y方向上提供12英寸编码运动。该平台支持自动化程序，如多点数据收集，以及大面积分析的拼接能力。0.5微米编码器提供可靠的、可重复的自动化和样品定位。直观的操纵杆和软件界面控制，方便操作人员进行样品定位。
直观的表面测量和分析软件
Bruker的Vision64®操作和分析软件提供了业界最实用、最流线化的图形用户界面，结合了智能架构、直观的可视化工作流和广泛的用户自定义自动化功能，用于快速和全面的数据收集和分析。先进的生产接口允许ContourGT-X适应几乎任何生产环境和自动化过程。该界面提供了自定义过程工作流、自动映射和负载度量食谱的工具。
