contourgt-x.
自动化量规计量，用于研发和生产
ハイライト
contourgt-x.
Contouggt-X 3D光学分析器提供了实验室研究和生产过程控制的最高性能的非接触面测量。该计量系统采用10代白光干涉测量（WLI）的创新和设计，可提供业界最大的垂直分辨率。主要功能包括完全自动化和生产界面，一个大型电动XYZ级，头部尖端/倾斜，以及一体的空气隔离桌。距离最苛刻的研发，质量保证和工艺质量控制需求的基础设计，Contouggt-X提供了能力的3D光学精度和鲁棒性的最终。
完整的
自动化
提供最快、最简单的纳米尺度测量。
可定制的
生产界面
提供简化的流程工作流，自动映射和负载测量配方。
自我校准
激光参考
确保最佳的生产计量，可重复性和鲁棒性。
特長
可生产的设计和可靠性
ContourGT-X集成了布鲁克的尖端/倾斜头专利、自校准激光基准专利、集成模式识别和许多其他专利干涉计量创新，以提供极其精确的高通量表面计量。该系统的自动化配置可以在几乎任何生产环境中实现快速优化，包括用于提高X、Y、Z晶圆放置精度的空气工作台稳定器套件和PDU、EMO和真空系统集成，以及用于自动装弹机末端执行器兼容的改进真空卡盘。
高分辨率成像的高精度平台
ContourGT-X电动XY工作台在X和Y方向上提供12英寸编码运动。该平台支持自动化程序，如多点数据收集，以及大面积分析的拼接能力。0.5微米编码器提供可靠的、可重复的自动化和样品定位。直观的操纵杆和软件界面控制，方便操作人员进行样品定位。
直观的表面测量和分析软件
Bruker的Vision64®操作和分析软件提供了业界最实用、最流线化的图形用户界面，结合了智能架构、直观的可视化工作流和广泛的用户自定义自动化功能，用于快速和全面的数据收集和分析。先进的生产接口允许ContourGT-X适应几乎任何生产环境和自动化过程。该界面提供了自定义过程工作流、自动映射和负载度量食谱的工具。
