三维光学轮廓仪

Contour Elite X

适合工业应用的满足产线要求的计量和高保真成像
Contour Elite X

高亮

Contour Elite X

Contour Elite X 全自动、大样品台三维光学轮廓仪具有无与伦比的测量能力,可在业界最大视场范围内达到最高垂直分辨率,并拥有高保真彩色成像或单色成像功能。其所具有的非接触准确性、高效率、操作便利性和成像能力适用于各类生产计量应用,在同类产品中独占鳌头。自设计伊始即针对最苛刻的研发、质量保证和工艺质量控制需求,Contour Elite X 提供了具有计量能力的顶级三维光学轮廓分析解决方案。

可靠
光学测量
为研发和质量保证/质量控制(QA/QC)决策提供定量化数据。
真彩色
成像
揭示以往难于测得的微观细节。
灵活
样品台和治具
定制适合您样品和应用的计量方案。

功能

特点

彩色成像与计量完美结合

Contour Elite X 新增了高保真彩色成像功能,加上独有的侧向照明和先进算法,用户可以获得单计量系统无法实现的额外成像通道,并能够提供易于辨识的表面特征细节以形成报告。由此用户可根据颜色或灰度信息对数据进行分区,快速选择感兴趣的区域,并从这些区域收集关键计量数据。将高端计量与观察、识别和显示测量内容等能力相结合,这对于理解数据和沟通结果都非常重要。

彩色图像叠加后形成的印刷电路板(PCB)三维高度图。

卓越的水平分辨率和垂直分辨率

传统干涉仪在金属圆柱体表面失焦的实景图(左图);Contour Elite 增强成像功能测出的清晰全焦图像(右图)。

Contour Elite X 系统可在业界最大的视场范围内达到最高水平分辨率和垂直分辨率,同时具备亚纳米到大于 10 毫米垂直范围。该系统采用荣获了研发创新大奖(R&D 100 Award)的 AcuityXR 测量技术,突破了光学测量中的衍射极限。此外,该系统还可安装百万像素摄像头,提高 X-Y 空间分辨率。大范围视场和 1X 到 115X 的物镜放大率,可以对极其广泛的表面形状和表面纹理进行表征。

快速无损成像

Contour Elite X 轮廓仪属于非接触式系统,搭载大型平台,确保样品或部件完好无损。我们专利的白光干涉(WLI)技术可获得亚纳米级精度的高度数据,并且不受所用放大倍数的影响。这意味着,即使对一平方毫米图像区域内超过一百万个数据点进行采样,用户仍能够在几秒内收集高分辨高度数据。

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