fp III
第三代飞秒脉冲激光修复系统
45nm生产光罩修复
高亮
高速精确的掩模修复能力
fp III®飞秒脉冲激光系统是Bruker高度成功的光罩修复工具系列的最新产品。凭借其非凡的高速和精密掩模修复能力，fp III是当今最具成本效益的解决方案，可取代过时、陈旧、较慢和能力较差的现有激光和FIB掩模修复系统。fp III设计用于批量生产的掩模修复，直至45nm技术节点，包括大面积和小面积图像重建以及薄膜修复。
宽范围
激光烧蚀与颗粒去除材料的研究进展bob综合游戏
包括铬、MoSi、不透明MoSi、SiN、石英、EUV、异物和持久性未知颗粒bob综合游戏
准确的
边缘放置
≤ 所有材料的20 nm（±距离目标）bob综合游戏
极高的精度控制允许维修与指定的参考匹配，或在线路边缘进行差异偏置
迭代修复
能力
飞秒脉冲激光器
确保无吸收体或石英损坏，无热损坏，无飞溅或卷起
所有面具
类型
45nm节点修复
具有从EUV口罩中去除未知粒子的能力
功能
面具修复的终极控制变得简单
我们的Fempto脉冲激光修复工艺完全可以通过形状、功率和脉冲数进行控制；与材料成分、材料界面或被移除的几何体无关。
此外，集成的本地模式复制功能是系统上的标准功能，便于设置和重复结果。
专为最佳性能而设计
fp III标配反射和透射成像，以提供最佳的AIMS传输性能。
奉献通过膜修复和颗粒去除能力，即使是在大面积上，也能消除持续的未知颗粒污染。
功能强大，无需担心
Bruker的口罩修复fp III提供经生产验证的高速修复，包括：
- 无真空要求
- 没有化学药品
- 无化学残留物
- 无束流相关充电效应
- 无需使用不需要的定位标记进行恒定漂移校正
支持
支持
我们能帮忙吗？
Bruker与我们的客户合作解决实际应用程序问题。我们开发新一代技术，帮助客户选择正确的系统和配件。这种合作关系将通过培训和扩展服务持续下去，直到工具售出很久。bob电竞官方网站
我们训练有素的支持工程师、应用科学家和主题专家团队致力于通过系统服务和升级以及应用程序支持和培训最大限度地提高您的生产力。bob电竞官方网站