FP-III.
第三代毫微微脉冲激光修复系统
45nm生产掩模修复
ハイライト
高速和精密掩模修复能力
FP-III®Femto-Pulse激光系统是Bruker高度成功的光掩模修复工具的最新补充。凭借其非凡的高速和精密掩模修复能力，FP-III是当今最具成本效益的解决方案，可以更换过时，较旧，较慢，较少的现有激光器和FIB面具修复系统。FP-III设计用于向45nm技术节点的批量生产面膜修理，包括大小区域图像重建以及通过薄膜修理。
广泛
激光烧蚀和颗粒可拆卸材料bob综合游戏
包括Chrome，MOSI，OPAQUE MOSI，SIN，石英，EUV，异物和持续未知颗粒bob综合游戏
精确的
边缘位置
所有材料的≤20nm（±目标）bob综合游戏
非凡的精度控制允许维修与指定的参考或在线边缘的差异偏置
迭代维修
能力
femto-pulse激光
确保没有吸收剂或石英损伤，没有热量损坏，没有飞溅或卷起
所有面具
类型
45nm节点修复
具有从EUV面具中删除未知粒子的能力
特
掩盖修复的最终控制变得简单
我们的Frempo-Pulse激光修复工艺通过脉冲的形状，功率和数量完全控制;独立于材料组合物，材料界面或被移除的几何形状。
此外，集成的本地模式复制功能是系统上的标准配置，以实现易于设置和可重复的结果。
为最佳性能而设计
fp-III标准与反射和透射成像提供最好的可能的AIMS传输性能。
提供的年代上穿透膜修复和粒子去除能力的持久性未知粒子污染，甚至超过大面积。
大量的能力，没有担心
Bruker的面具修复fp-III提供生产证明，高速修复与:
- 没有真空要求
- 没有化学反应
- 没有化学残留物
- 没有与光束相关的充电效应
- 不需要使用不良定位标记的恒定漂移校正
サポート
支持
我们如何提供帮助?
Bruker与客户合作解决现实世界的应用问题。我们开发下一代技术，帮助客户选择合适的系统和配件。该伙伴关系继续通过培训和扩展服务，在销售工具后很久。bob电竞官方网站
我们训练有素的团队支持工程师，应用科学家和主题专家完全致力于最大化您的生产力与系统服务和升级，以及应用支持和培训。bob电竞官方网站