三维光学表面光度仪

轮廓

用于大容量、高精度PCB生产控制的大面板计量系统
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德斯塔克斯

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ContourSP大面板计量系统结合了十多年的封装光学特性专业知识,使高密度互连PCB(HDI-PCB)基板的测量吞吐量比上一代WLI仪器提高了一倍以上。该系统专门设计用于在制造过程中测量PCB板的每一层,并集成了一系列先进功能,为半导体封装行业提供最佳的生产性能、便利性、可靠性和吞吐量。具有仪表功能的ContourSP利用直观的生产界面,通过可配置的用户输入提供快速轻松的基准校准。

综合的
bob娱乐平台工业测量
实现快速、高精度的PCB生产控制。
唯一的
系统功能
保证最高的产量,最大的正常运行时间和最低的成本。
最高
吞吐量
在不影响准确性的情况下,提供快2倍的数据。

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特征

无与伦比的精度

凭借其新的耐振系统设计和获得专利的Wyko垂直扫描干涉测量(VSI)成像,可计量的ContourSP系统以纳米分辨率执行极其精确的3D临界尺寸(CD)测量。这种能力与广泛的自动化相结合,使ContourSP能够同时作为强大的表面纹理计量仪器和易于使用的缺陷检测工具执行多任务。

ContourSP测量面罩、衬垫和面罩内基板的尺寸和高度。

简化操作和分析

ContourSP包括多种基准点的简易设置,用于自动校准。可选软件可确保快速、准确地定位所需功能。

ContourSP直观的生产界面通过可配置的用户输入提供快速、轻松的基准校准。除通过/失败信息外,用户现在还可以选择详细的参数结果以显示在摘要屏幕上。Vision64软件为工程师、技术人员和操作员提供完全访问控制,并具有轻松协调文件导入功能,确保系统到系统配方的可移植性和快速文件创建。

为面板计量量身定制的大可测量区域

该系统采用Bruker革命性的基于机架的设计和集成工作站,以高度紧凑的占地面积支持高达600x600毫米的样本。专门为生产面板计量设计的软件帮助制造工程师和操作员充分利用独特的光学轮廓特征,包括动态信号分割、重新测量功能、地形扫描以补偿晶圆弯曲、坐标文件导入、ESD、面板ID读取、,和模式识别。

ContourSP机架设计提供了600x600mm的测量区域。

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