Sensus-CS.
高分辨率XRDI系统专门用于SIC的生产监测
X射线衍射成像（XRDI）检测系统
Destaques
Sensus-CS
Sensus-CS是一个高分辨率XRDI系统，专门用于SIC的生产监测。它采用高亮度旋转阳极源，具有5μm分辨率检测器，在<30分钟内收集高分辨率图像，以满足150mm晶片，比以前的系统快10倍。该系统可以配备完整的机器人装载，和一个可选的迷你环境，以充分生产能力。可以安装SECS-GEM软件，从工厂主机启用完全自动化。
5µm分辨率
探测器
收集高分辨率图像
< 30分钟
适用于完整的150mm晶圆
比以前的系统快10倍以上
可配置的
用于全产量
添加机器人加载、迷你环境和SECS-GEM
características.
自动缺陷检测
通过完全自动化的操作，它还提供了从材料研究到全面生产部署的完整解决方案。该系统具有全自动样品对准、测量和分析功能。通过自动缺陷识别和标准的KLARF输出，该分析能够分别测定TED、TSD和BPD密度。
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我们如何提供帮助?
Bruker与客户合作解决现实世界的应用问题。我们开发下一代技术，帮助客户选择合适的系统和配件。该伙伴关系继续通过培训和扩展服务，在销售工具后很久。bob电竞官方网站
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