Sensus-CS
高分辨率XRDI系统专为SIC的生产监测而设计
X射线衍射成像（XRDI）检查系统
LoMásDestacado
Sensus-CS
Sensus-CS是专门设计用于SIC生产监测的高分辨率XRDI系统。它使用具有5µm分辨率检测器的高亮度旋转阳极源来收集<30分钟的高分辨率图像，用于整个150mm晶片，比以前的系统快10倍以上。该系统可以配备完整的机器人加载，以及可选的迷你环境，以实现完整的生产能力。可以安装SECS-GEM软件以启用工厂主机的完整自动化。
分辨率为5µm
探测器
收集高分辨率图像
<30分钟
用于完整的150mm晶片
比以前的系统快10倍以上
可配置
用于完整生产
添加机器人加载，迷你环境和secs-gem
características
自动缺陷检测
通过全自动操作，它还提供了从物质研究到完整生产部署的完整解决方案。该系统具有全自动样品对齐，测量和分析。该分析可以通过自动缺陷识别和标准KLARF输出分别确定TED，TSD和BPD密度。
索波特
支持
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