Bruker的自动化AFMs为最新技术节点和晶圆上的表面粗糙度测量、化学机械平bob娱乐平台坦化(CMP)和蚀刻深度测量提供经验证的工业计量解决方案。
原子力剖面法是最基本的方法最精确的无损检测方法可用于优化和监控具有挑战性的CMP和蚀刻工艺步骤。直接测量不需要测试结构或模型,可以在模具的活动区域形成,以获得对工艺变化的最佳灵敏度。
我们如何提供帮助?
Bruker与我们的客户合作解决实际应用程序问题。我们开发新一代技术,帮助客户选择正确的系统和配件。这种合作关系将通过培训和扩展服务持续下去,直到工具售出很久。bob电竞官方网站
我们训练有素的支持工程师、应用科学家和主题专家团队致力于通过系统服务和升级以及应用程序支持和培训最大限度地提高您的生产力。bob电竞官方网站