尺寸边缘PSS

随着图案蓝宝石底物（PSS）的音高低于2微米，传统的共聚焦技术将失去提供宝贵的过程计量学所需的分辨率。尺寸边缘PSS原子力显微镜（AFM）通过子纳米分辨率解决这一需求，并且能够一次测量9个2英寸晶片（或单个4或6英寸晶片），提供所有数据保持PSS制造过程的控制所必需。

除了尺寸边缘PSS内置的特定PSS测量功能外，该系统还结合了尺寸显微镜已闻名的所有世界领先的Bruker AFM技术，包括高分辨率和低噪声，用于外部的粗糙度测量以及此类噪音。标准和专有的AFM模式为TAPPESTMODE，接触模式，Apaimimaging™和LiftMode™。

Edge PSS合并了专门设计以满足LED制造要求的自动软件。该软件具有两种不同的操作模式：

• 操作员级别 - 一个带有按钮的简单用户界面可引导用户通过小费更改，对齐，调整和资格的步骤。单个按钮操作最多可自动运行9瓦夫，并使用简单的通行/失败输出。
• 工程师级别 - 密码保护的用户界面允许工程师访问所有关键的AFM参数。过程工程师还可以在此模式下轻松设置所有必要的通过/失败标准。