硅锭分析仪

제품품질을확인하고최적화를위한정보를확인하세요。

硅锭의산소그라데이션을알면실리콘결정화공정을제어및최적화하거나나쁜원료의배치를식별하는등중요한결론을내릴수있습니다。SBS따라서는제품품질을최적화하고결함이있는웨이퍼의양을줄임으로써비용을절감하는데도움이될것입니다。개별받은반주의무작위샘플링은샘플준비노력을강력하게줄이고관련정보를훨씬일찍제공합니다。

최첨단红外光谱분광기에의한최고감도

傅立叶变换红外光谱분광법(ASTM /半1188)에의한간질산소정량화는잘알려져있고중요한분석방법이지만,저mm범위에서얇은시료로제한된다。SiBrickScan (SBS)은이러한한계를극복하고시간이많이소요되고파괴적인얇은샘플준비없이주요축을따라완전한고착지의산소그라데이션을결정하는최초의상용전용시스템입니다。SBS는신뢰할수있고최첨단브루커红外기술과결합된관련적외선배음흡수밴드를현명하게사용합니다。

얇은시료의준비없이중간산소의정량화

SiBrickScan은최대500毫米길이의실리콘잉곳에서간질산소를분석할수있습니다。이정보는선별전개별잉곳의자격뿐만아니라결정화공정의최적화를가능하게합니다。

ASTM /半1188에직접연결된고품질교정

SBS산소평가는ASTM /半1188에서직접연결/파생된교정을사용합니다。두방법의상관관계는거의완벽하기때문에,간질산소농도는가장높은정확도로평가됩니다。

SBS에서가장높은검출감도

시료형상및특성(예:저항)에따라SBS는간질산소검출한계& 2 ppma (10¹⁷/厘米^3)를달성할수있다。타당성테스트측정에관심이있으시면해당지역의브루커담당자에게문의하십시오。

다양한锭유형에대한전용SBS버전

SBS는폴리또는모노결정표준정사각형PV锭(단면~ 156 x 156毫米^2)뿐만아니라~ 150毫米(6)또는~ 200毫米(8)직경의실린린드릭시인덕트에사용할수있습니다。요청시다른직경및셰이프에대한시스템을사용할수있습니다。

업계호환및견고한설계

견고하고정밀한선형드라이브는자동으로인고측정위치를제어합니다:구성및인고유형에따라~ 12毫米의공간산소분해능을받은축을따라달성할수있습니다。안정적이고안전한연동메커니즘은작업자가움직이는부품과접촉하는위험을제외합니다。

직관적이고사용하기쉬운소프트웨어인터페이스

SiBrickScan (SBS)에는산업환경에최적화된전용직관적인그래픽사용자인터페이스가포함되어있습니다。또한일반생산작업자에의해표준작동절차는몇분이내에학습할수있습니다:단순히고착을로드,원하는분석조리법을선택하고측정을시작합니다。그런다음데이터평가를포함하여측정자체가자동으로수행됩니다。

포함된기준샘플이포함된혁신적인고감도빔경로

독특하고혁신적인적외선빔경로는최고측정감도를보장합니다。고품질기준샘플은이미계측기에포함되어있으며기준측정이자동으로수행됩니다。

고객요구사항에따른검출기옵션

SBS는액체질소와독립적으로작동하는스털링냉각검출기와함께사용할수있습니다。선택적으로SiBrickScan은자동리필장치를포함하여액체질소냉각검출기로주문할수있습니다。