Silicon Ingot分析仪

sibrickscan

横幅sibrickscan硅分析仪

eigenschaften

Sibrickscan(SBS)Silizium Ingot分析器

sibrickscan(SBS)IST ein dediziertes produktionsnahes(“ at-Line”)系统fürdie die ft-ir basierte ventifizierung von von Interstitiellem sauerstoff in Kolpletten Silizium-ingots中。das ergebnis ist ein konzentrationsprofil entlang derlängsachsedes ingots。der Zugang Zu Dieser信息,哦,Die Notwendigkeit,Testproben Oder Wafer ZuPräparieren,Stellt Einen signefikanten und Kostensparenden Vorteil dar。

wertvolle信息Zur Kontrolle和Optimierung derProduktqualität

Die Kenntnis des Sauerstoffgradeenten在Si-ingotsErmöglichtwichtige schlussfolgerungen Z。B. Zur Kontrolle und Optimierung des Kristallisationsprozesses Oder Zur Identifizierung von Schlechten Chargen。somit ist sibrickscan ein wichtiges werkzeug zur zur kostenersparnis durch optimierung derproduktqualität和reduktion der der anzahl fehlerhafter晶圆。Die StichprobeBenartige分析了个体工具Reduziert den aufwand derprobenpräpartarationdramatisch und liefert die相关信息DeutlichFrüher。

HöchsteMessempfindlichkeit Durch Modernste Ft-ir-Spektroskopie

SI(ASTM/SEMI 1188)中的ft-ir-ir-Quantizierung von interstitiellem sauerstoff ist eine etablierte und wichtige and wichtige Analytikmethode,die aber aber aber auf progendicken im niedrigen mm-bereichen mm-bereichen bereichichbeschränktist。SiBrickScan (SBS) überwindet diese Limitierung und ist das erste kommerziell erhältliche, dedizierte Gesamtsystem zur Ermittlung des Sauerstoffgradienten in kompletten Ingots entlang ihrer Längsachse, ohne die Notwendigkeit, zeitaufwändig dünne Testproben zu präparieren.Hierzu Wird Beim SBS AUF智能Weise der Sog。Oberton Einer Infrarot-Absorptionsbande Bande Mittels Modernster undZuverlässigerBruker Ftir-Technologie Analysiert和AusgeWertet。

安温登根

安温登根

Quantifizierung von interstitiellem sauerstoff ohne diepräparationdünnertestproben

Sibrickscanermöglicht模具分析了silizium-ingots Bis ZueinerLängevon 500毫米的von Interstitiellem Sauerstoff。diese wertvolle信息ermöglichtsowohl die optimierung des kristallisationsprozesses als auch die die die die die die vor nimueller ingots vor dem demsägen。

Hochwertige,Direkt MIT ASTM/SEMI 1188Verknüpfte,Kalibration

Die Sbs-Sauerstoffauswertung nutzt Eine Kalibration,Die Direkt Mit ASTM/SEMI 1188VerknüpftIST BZW。von Dieser Abgeleitet Wurde。da die korryation beider methoden nahezu perfekt ist,kann der interstitielle sauerstoff mithöchstergenauigkeit ventifiziert werden。

Höchstenachweisempfindlichkeit mit SBS

Abhängigvon probenform und eigenschaften(Z。B。Spezifischer widerstand)sind mit sibrickscan sauerstoffnachweisgrenzen <2ppma(<1017/厘米3)Erreichbar。Falls Sie a einem Machbarkeitstest Intersesiert Sind,Kontaktieren Sie Bitte Ihren Regionalen Bruker-Repräsentanten。

Spezifikatikation

Spezifikatikation

dedizierte sbs-versionenfürunterschiedliche ingot型

das sbs ist sowohlerhältlichfürquaderförmigepoly- oder monokristalline标准pv-ingots(querschnitt〜156 x 156 mm2)Als auchfürZylindrische ingots Mit Durchmesser 〜150 mm(6“)ODER〜200毫米(8”)。SOLLTEN SIESYSERSENFürAnderedurchmesser Oder emen Interessiert sein,prüfenwil auf anfrage anfrage gernfage die die machbarkeitfürsie。

Industrie-Kompatibles Und Rotustes Design

Ein Rubuster undPräziser线性trieb Steuert Automatisch Die Messposition des si-ingots:Abhängigvon konfiguration und ingot-typ kann die sauerstoffkonzentration mit einer einer einerortsauflöflösungvon bis zu zu zu 12 mm emmmmmmmmmmmmmmmmmmmmtelt werden werden。Sichere undZuverlässigeelektronische Verriegelungsmechanismenschließendabei die gefahr aus,dass der der der der bediener mit mit beweglichen beweglichen teilen in Kontakt Kommt。

直观和舒适的BedienSoftware

Sibrickscan(SBS)Umfasst Eine Dedizierte和直观的GrafischeBedienoberfläche,DiefürIndustrielleBedürfnisseOptimiert Ist。Auch Von normal produktionsarbeitern kann der Standard-Bedienungsablauf Innerhalb Weniger Minuten Erlernt Werden:Nach dem Laden des Ingots Muss LediglichdasGewünschte“ AnalySereRezept” Analysereerezept“Ausgewählt”Ausgewähltund Die Die Die Messung Gestartett Werden。Die Eigentliche MessungEinschließlichDatenaUswertungerfolgt daraufhin automatisch。

Innovativer Strahlengang MIT焓参考Probe

Ein Einzigartiger和Innovativer Infrarot-Strahlengang Stellt DieHöchstmöglicheMessempfindlichkeit Sicher。Eine Hochwertige Referenzprobe ist bereitsimgerätmentalten和die die eentsprechende referenzmessung wird wird automatischdurchgeführt。

detektoroptionenfürunterschiedliche kundenanforderungen

DAS SBS IST MIT EINEM Stirling-GekühltenDetektorErhältlich,derOhneflüssigenStickstoff betrieben Werden Kann。可选的iSt aber auch eine sibrickscan-version mitflüssigstickstoff-gekühltemdetektoreinschließlichβlichautomatmathernachfülleinrichtungverfügbar。

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