以LaB6为例进行定量分析

六硼化镧（实验室）_6.)为S/TEM中的定量EDS分析提供了一个非常说明性的示例，因为它包含两个极端，一个非常轻的元素（B）和一个重元素（La）。实验室_6.可用于显示Bruker的XFlash的性能^®探测器和Cliff Lorimer定量程序。

未知样品零件的量化测试从元素识别开始。要量化的元素可以通过自动化或交互例程来定义。来自杂散辐射（例如样品架上的Cu）或污染（例如碳）的光谱中的元素线只能指定用于反褶积。因此，相应的信号可用于线反卷积，但不考虑用于测定试样中的元素浓度。下一步是背景减法。提供了一种特殊的物理韧致辐射模型，以实现背景的完美匹配。第三步是峰值反褶积。有几种不同的拟合模型可用于最佳峰分离。最后，使用理论或校准的Cliff Lorimer（CL）因子完成量化。

实验室_6.标准（图像库中的绿松石光谱）可用于实验校准Cliff Lorimer因子。

使用理论CL因子的结果已经显示了Bruker的Cliff-Lorimer定量的优异性能。正如图片库中的表格所示，它们非常接近La和B的预期成分14.29 at.%和85.71 at.%。此外，使用La K系列而不是L系列进行量化的结果表明，QUANTAX系统非常适合光谱采集，也适用于超过20 keV线能量高达80 keV的量化。