硬涂层纳米indentation的介绍性课程

了解如何获得薄膜和涂层的定量测量。

纳米intentation是一种广泛使用的技术,用于测量小鳞片的机械性能,包括薄膜和涂层。这里,测量工具涂层的技术从头到尾彻底详述。这些PVD和CVD涂层用作结合在粗糙度,厚度和非凡硬度的要求之间找到平衡的示例。

抽象的

关于如何执行纳米endentation技术,介绍用户不立即理解的纳米endentation技术有许多考虑因素。从开始开始,提出了简单基板上的硬度和模量的测量。然而,测量真正的样本很少匹配这一理想。然后通过测量具有有限粗糙度和涂层厚度的样品来引入与该理想的偏差。基本上,这些并发症在冲突中,随着测量深度的增加,粗糙度的影响,而且会逐渐产生涂层和底层工具基材的混合响应。因此,选择最佳深度对于获得工具涂层的精确测量是重要的。提出了四种不同市售氮化物涂层的结果。

扬声器

Jungkyu Lee,Ph.D.

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