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x射线衍射成像(XRDI,也称为x射线形貌成像)是用来成像完美(或接近完美)衬底的晶体缺陷。使用QC-RT上的虚拟狭缝,可以在模式下对样品进行成像,以观察划痕、位错和其他缺陷,但也可以在衬底内进行成像方向对比。
这些图像是由相同的数据创建的,并允许不同的长程和短程特征的图像通过不同的处理。