膜厚度的决心

超薄膜表面功能化和改性在生物污染、传感器、防腐、催化等领域有着重要的应用。这使得彻底的调查这些薄膜强制性，以了解和提高薄膜的生长和功能。有许多方法来鉴定薄膜和涂层使用FTIR光谱。

它们是透射率、衰减全反射(ATR)、增光角反射(GIR)或红外反射吸收光谱(IRRAS)、偏振调制iras (PMIRRAS)．根据薄膜厚度、光学特性和支撑基板的不同，可以优先应用不同的测量模式。

由于x射线可以穿透物质，x射线荧光(XRF)允许测定层厚度。使用在SEM micro-XRF，层分析(厚度和组成)是可行的空间分辨率在微米尺度。层分析强烈地基于使用原子基本参数(FP)的量化。利用标准样品可以改善其性能，因此FP可以研究各种类型的层系，如晶圆上的金属化、多金属预处理涂层和太阳能电池。阅读更多

入射x射bob综合游戏线在某一临界角以下时，所有材料都表现出全反射，其反射强度几乎与直接光束一样大。当x射线反射仪(XRR)测量入射角增加时，穿透材料会导致反射强度急剧下降。因此，XRR数据可以跨越多个数量级。XRR是一种快速、无损的测量薄膜涂层、多层膜和超晶格厚度、粗糙度和密度的方法。这些信息可以从镜面干涉图样中提取出来，并允许对晶体和非晶薄膜进行表征。

氮化镓(GaN)基材料的表征通常使用无损x射线测量。bob综合游戏宽禁带半导体的主要类,GaN及其在/ Al利用等效基质等许多新设备的高电子迁移率晶体管(HEMTs),发光二极管(led),激光二极管,和太阳能薄膜外延层的形式,从几纳米到微米。器件性能通常与堆叠顺序、层厚、晶体结构和化学成分有关。这些特性可以使用高分辨率x射线衍射(HRXRD)，以及x射线反射率(XRR)、互易空间映射(RSM)和高分辨率摇摆曲线(RC)等技术来研究。