半导体硅化钽的峰重叠问题的解决

钽硅化物用于氧化或耐高温涂层，在微电子和光学。钽硅化物也可能作为难熔相出现在半导体材料如硅晶圆中。bob综合游戏

为了在质量控制期间实现高空间分辨率，分析必须在低加速电压下进行，使小相位的识别复杂化。在低加速电压下，只产生与衬底Si Kα线严重重叠的Ta M系列能量线。

得到的主要元素的能谱峰稍微变宽，掩盖了第二元素的存在。通过比较，像Ta这样的元素被确定了QUANTAX改进算法由于其卓越的峰分辨率。