使用扫描电镜进行大面积映射(Hypermaps)可能会受到标准扫描电镜级移动缓慢的阻碍。此外,由于分析过程中电子束和样品相互作用的差异,在低放大倍数下存在潜在的x射线信号强度伪影。这与WDS分析特别相关,也可以在BSE图像或EDS元素强度图中观察到。
的快速的阶段是专门为SEMs设计的,能够实现毫米(mm)到厘米(cm)尺度上的大面积映射。这将消除与低放大倍数绘图相关的潜在SEM x射线强度变化伪影,从而增强以前不可能实现的元素和矿物学信息。快速阶段也与micro-XRF.
快速阶段的最大分析面积为50mm × 50mm,它可以与SEM阶段一起扩展,以包含任何SEM室允许的最大空间面积。传统的使用SEM的大面积分析是基于将多个视场镶嵌在一起来创建大面积地图,其中每个单独的领域都通过栅格光束映射。与样品相互作用的源x射线束处于固定位置,因此无法控制光栅作为标准SEM电子束。
因此,所有的映射都是通过舞台控制(即舞台移动)。因此,快速阶段能够比sem阶段从一点到另一点更快地绘制大片区域。如图1(混凝土)、图2(外来铜)和图3(土壤基岩)所示。