JVX7300LSI
In-fab R&D
命运
JVX7300LSI
JVX7300LSI自动衍射仪设计用于半导体材料的内线研发和在线生产过程监测。bob综合游戏它可以在半导体行业中对许多高级材料进行全自动表征。bob综合游戏JVX7300L是标准配置，包括扫描HRXRD，XRR，XRD，GI-XRD和WA-XRD，用于应变计量，薄膜和毯子上的相位分析。该系统具有全自动源光学元件，即使在同一配方批处理中，系统也可以在没有用户干预的情况下进行切换。对齐，测量，分析和报告的完全自动化可确保薄膜的生产和快速表征。
Características
主要特征
用于自动薄膜生产监测的多功能X射线衍射仪
- XRR：厚度，粗糙度，薄膜和堆栈的密度
- XRD（放牧发动机/广角）：相位，结晶度，纹理，残余应力
- 平面XRD：阶段，超薄膜的结晶度
- HRXRD：应变，厚度，外延层的组成。
高通量
- 高通量来源
- 高动态范围0D检测器，1D，2D作为选项。
High resolution
- 高角度分辨率性仪表
- 低差异光学元件。
300-200-150mm晶圆，水平安装
完全自动化
- 晶圆处理带有2个Foup负载端口
- 配方驱动的工具配置更改包括。晶体和缝隙
- 样品分析流 - 从对齐到报告
- 秒/宝石。
行业领先的控制和分析软件RAD，参考
半S2 / S8, CE
aplicações
关键应用程序
JVX7300LSI在全球范围内用于高级节点逻辑和内存晶圆厂。
Key applications are:
- DRAM和NAND的高K厚度，密度和结晶度
- III-V关于未来节点开发的SI
- 在SI上使用电力晶体管
所有应用程序均由我们的全面分析软件套件启用，用于分析，模拟和拟合：RADS和REFS。
Acessórios
选项和配件
S Channel
对于图案化晶片的测试结构的小点测量，可以添加S通道，该通道的斑点大小为50µm x 50 µm，在样品中。可以将通道配置为高分辨率光束，用于在外延层上用µhrxRD的应变测量，也可以将其用于晶体膜上的相，结晶度和方向测量值的µXRD光束。
S频道带有全自动模式识别。
I Channel
Phase and orientation monitoring on ultra-thin crystalline films is enabled with the optional I channel for in-plane XRD measurements.
apoio
Support
我们能帮你什么吗？
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