同时进行EBSD和EDS分析

由于布鲁克EDS和EBSD探测器的独特定位能力，可以实现两者的最佳测量条件。这允许快速和有效的同步EBSD和EDS数据采集。

同时拥有这两种方法对产生的数据和得出的结论的质量有巨大的好处。特别是在有疑问的情况下，有第二个信息来源对正确的数据解释是非常有用的。由于许多分析步骤可以非常快速地离线完成，这节省了操作人员和SEM的时间。

EBSD和EDS同时测量有以下应用:

• 使用高级阶段ID提供阶段组成作为离线阶段识别的输入
• 基于eds的相位产生相似模式的在线识别

基于eds的快速在线相位识别

在某些情况下，虽然阶段产生的ebsp的成分不同，但它们是如此相似，以至于仅用EBSD无法区分。对于这些基于eds的在线歧视可以使用。最终结果中EDS数据的权重可由用户修改在1% - 100%之间。

由于Bruker公司的XFlash®EDS探测器具有快速的定量程序和能力，采集和评估可以以高达930模式/s的速度进行。为此目的，在测量的每个点获得的EDS光谱将与EBSD数据一起存储在一个文件中，这意味着它们总是可以在线或离线访问。