使用唯一的轴心检测器同时在SEM中同时获取晶体学和元素信息

最快的同时进行TKD和EDS测量

布鲁克的独特之处Xflash®扁平EDS检测器的超高实体角度为1.1 SR,可以同时使用擎天柱2为了从具有无与伦比的空间分辨率和速度的电子透明样品中获取包含化学和晶体取向数据的地图。

可以使用专为电子透明样品设计的方法来进行准确的定量EDS分析:

  • Cliff-Lorimer因子方法
  • zeta-factor方法

组合的ED和TKD测量是表征包含多个晶体学相的鲜为人知的样品,例如沉淀和/或夹杂物。合并的数据集可用于离线阶段识别和重新分析,并获得效率的巨大提高ESPRIT 2索引高达60,000个图案/秒的能力。

使用Xflash Flatquad EDS检测器(TOP),Optimus 2检测器头(底部)和TKD样品固定器(中间),用于同时进行轴上TKD和ED映射的探测器样本几何形状和ED映射