ハイジトロンナノインデンター

環境制御技術

低温から高温、湿度,雰囲気ガスの制御も対応する定量的なナノ力学特性,ナノトライボロジー特性評価技術

環境制御:温度、湿度、大気

在Operandoブルカーの環境試験スイートは,幅広い温度,使用ガス,湿度,ひずみ率などの使用環境下での材料のナノメカニクスとナノトライボロジーの特性評価を可能にします。これにより,研究者は,エンジニアリングソリューションに直接適用可能な基本的な材料性能パラメータを得ることができます。典型的なナノメカニック材料の試験は,高度に制御された実験室の条件で行われることが多く,希望する作業条件に対応していないことがよくあります。多くの場合,材料の特性,速度論,および化学的挙動を周囲温度付近から外挿することは有効ではありません。120°Cから800°C以上の温度で,複数の使用条件でナノスケールの機械的特性を正確に測定してマッピングする能力は,環境と機械的な極限状態に耐えるように特別に調整された特性を持つ新しい材料の開発に役立ちます。

xSol加热(加熱システム)

ブルカーのxSol®高温ステージ加熱システムは最大800℃までサンプルを加熱可能。高温領域においても安定的,定量的なナノ力学特性評価,ナノトライボロジー特性評価を実現します。xSolステージはサンプルの上下それぞれにフィードバックコントロールされた抵抗加熱ヒーターを搭載しているため,サンプルおよび圧子を均一に加熱可能,試験温度の安定までの待機時間ロスを低減します。また,酸化などの化学反応の影響を抑えるためにxSolステージ上の雰囲気ガスをコントロールすることが可能です。

xSol低温(冷却システム)

ブルカーのxSol冷却システムは-80℃まで(オプションで-120℃まで)サンプルを冷却した状態で,定量的なナノ力学特性評価,ナノトライボロジー特性評価が可能です。冷却乾燥窒素ガスとPIDコントロールされたヒーターを用いることで,xSolステージ上のサンプルの温度を正確にコントロールし,熱ドリフトも抑制,設定温度までスピーディーに到達します。ステージ内は冷却された乾燥窒素ガスで満たすため,水分によるサンプルの凍結を防ぎ,極低温での長時間の測定を可能にします。

SPMによる1018低炭素鋼の検討は,パーライトおよびフェライトの微細構造を示す。同一一領域のXPMマッピングは,セメンテ入領域およびバルクフェライトからの硬度の広がりを示す。硬度値の区別と広がりは硬度・周波数プロットで見ることができます。0.5ε1でインデントしながらの温度の変動は,-40°Cでの脆性から延性挙動への移行を示し,高ひずみ率シャルピー衝撃試験の5°Cよりもはるかに低い。

TI 980 IO(グローブボックスシステム)

ブルカーのTI 980 IOグローブボックスシステムは酸素濃度,水分濃度を0.1 ppm以下に抑えた環境下でナノ力学特性評価が可能です。不活性ガス雰囲気下における評価が必要な各種材料に特に有効です。本グローブボックスシステムでは,高真空の10-4Torr環境下と同様の酸素分圧を実現し,正確に制御されたガス雰囲気下で材料のナノ力学特性評価を安定的に行うことができます。

xSol湿度(湿度コントロールシステム)

ブルカーのxSol湿度コントロールシステムは幅広い領域で温度、湿度のコントロールを実現。高温多湿環境下で使用される材料や吸放湿性のある材料などのナノ力学特性評価,ナノトライボロジー評価に特に有効です。サンプル全体の湿度調整を必要とするマクロな評価と異なり,ナノ力学特性評価は試料表面の湿度調整のみで評価可能なため,試験時間の短縮が期待できます。

超低K (ULK)薄膜は,ULKが高湿度で骨折を受ける可能性が高いことを示す様々な条件で試験した。