3D光学轮廓测定法

考虑共聚焦显微镜-为什么妥协?

Bruker 3D光学显微镜提供无限制的计量能力

在任何放大率下的最佳垂直分辨率

Bruker 3D光学显微镜利用Z轴中的闭环扫描,以提供亚腔计垂直分辨率和0.01纳米的RMS可重复性。这为您提供了可靠,可重复的数据,在视野中最适用于您的特定应用程序。无论放大或视野如何,Bruker 3D光学显微镜都保持这种高分辨率。除非以50倍放大率运行并更高限制您的视野,否则共聚焦显微镜不提供可比分辨率。

最大视场

3D光学显微镜根据所选物镜的视角捕获完整的数据集,允许更低的放大倍数和更大的视角。与力量的专有AcuityXR™在这些较低的放大率下,你甚至可以达到高的横向分辨率(打破衍射极限)。此外,布鲁克的自动化阶段选项使更大的兴趣区域能够成像,并缝合到一个单一的高分辨率数据集。

注意在较低的放大倍数下共焦图像的质量损失。
镀铬有缺陷(表面纹理不同)。

挑战性表面的不妥协计量

Bruker的3D光学显微镜提供低噪音、高速、精度和最广泛的表面范围内最苛刻的计量所需的精度。无论你需要测量光滑的、粗糙的、不反光的、反光的、平坦的或陡峭的斜坡,布鲁克技术都非常适合这项工作。联系我们的应用团队,了解3D光学显微镜如何帮助解决您的表面表征需求。

优秀的成像

布鲁克的Vision64™软件将高分辨率数据转换成有意义的图像,帮助工程师做出合理的决策。通过数千个定制分析和直观的用户界面,Bruker的3D光学显微镜解决方案可以轻松优化实验室和工厂的生产率。

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