语言
低温硅（低温硅分析系统，，シリコン分析）ははシリコンシリコンはシリコン中不纯不纯物をををを以下以下以下低温环境下で分析分析するためために开発开発ささされ装置装置。。。。。。。して设计れ，オールインワン専用システム。。
シリコン中酸素浓度分析に最适化アトラインアトラインアトラインたたたたシステムシステムシステムシステムです。。インゴットインゴットインゴットををその分析分析するするためため，，ウェーハ制造制造工程工程のの初期初期初期初期效率效率效率なな
