旧金山那
2016年7月12日/ Pbob体育竞技风暴RNewswire/ - 在Semicon West，
布鲁克今天宣布多个领先的逻辑和铸造制造商选择了
布鲁克的JVX7300LSI X射线计量系统支持10纳米（NM）和7/5 nm技术节点的坡道和开发。这JVX7300LSI工具配备了大型和小点测量功能，用于在线生产过程监视最先进的逻辑设备。该工具是由制造商选择了对各种前端应用中极具挑战性测量的全面评估，包括有关SIGE和GE外延分析，包括有关SI和SRB的SIGE和GE外延分析，以及（FD）SOI，IIII-V等。bob综合游戏高 -K./金属栅极特征。
"We are delighted to have been selected by industry-leading semiconductor customers to provide an unparalleled metrology solution for advanced epitaxial processes," said
大卫·罗西（David V. Rossi），布鲁克半导体部门主席。“加强我们在基于FAB的X射线计量学中的位置是背后理由的一部分
布鲁克的2015年收购了约旦谷半导体，我们认为这一选择是我们作为基于X射线的高级解决方案提供者的技术领导者的进一步证明。”
"As the industry moves to 10 and 7/5 nanometers, new metrology requirements and challenges are presented," added
艾萨克·马祖（Isaac Mazor），副总裁兼总经理
布鲁克的X射线半导体业务。“这JVX7300LSI系统是广泛应用程序的理想工具，提供了克服这些过程中开发和制造过程中许多挑战所需的计量。它具有广泛的基于X射线的表征和计量技术（HRXRD，XRR和各种XRD几何形状），并且在单个系统上都对毯子和图案晶圆剂进行了优化。”
有关JVX7300LSI系统
这JVX7300LSI是一个适于生产的x射线计量系统advanced logic and "More-than-Moore" applications, such as III-V compound semiconductors on Si, and can be used for both in-fab process development and production monitoring. The tool supports a wide range of X-ray metrology modes to provide solutions for a large variety of materials and structures. It is capable of measuring the composition, thickness and strain/relaxation of single and multiple epilayer stacks using both large- and small-spot HRXRD. Additionally, with XRR and (GI)XRD channels,JVX7300LSI还可以提供有关多种薄膜的厚度和密度的信息，以及独特的微观结构信息，例如多晶薄膜的结晶度，晶粒大小和相位。与光学或光谱工具不同，HRXRD（高分辨率X射线衍射）和XRR（X射线反射仪）是第一个原理技术，可在没有校准的情况下提供准确而精确的结果。
关于
布鲁克公司（纳斯达克：BRKR）
超过50年，
布鲁克使科学家能够做出突破性的发现并开发新的应用，以改善人类生活的质量。
布鲁克的high-performance scientific research instruments and high-value analytical solutions enable scientists to explore life and materials at molecular, cellular and microscopic levels.
与客户密切合作，
布鲁克在生命科学分子研究，应用和药物应用，显微镜，纳米分析和工业应用以及细胞生物学，临床前成像，临床研究，临床研究，微生物学和分子诊断方面，在生命科学分子研究中实现了创新，生产力和客户成功。bob娱乐平台有关更多信息，请访问：www.energie2point0.com.。
照片 -http://photos.prbob体育竞技风暴newswire.com/prnh/20160711/388384
To view the original version on PR Newswire, visit:http://www.prbob体育竞技风暴newswire.com/news-releases/leading-leading-logic-and-foundry-manufacturers-select-bruker-x-ray-metray-metrology-tools-300296905.html
来源
布鲁克公司