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技术规格
测量原理 | 非接触,光学,三维,基于焦点变化。垂直焦点探测技术 |
定位量(x x y x z) | 200 mm x 200 mm x 100 mm = 4000000 mm3 |
客观放大 | 2.5倍 | 4x | 10x HX | 10倍 | 20x HX | 20倍 | 50x | 100x | |
工作距离 | 毫米 | 8.8 | 30 | 37 | 17.5 | 30 | 19 | 11 | 4.5 |
横向测量范围(x,y) (x x y) |
毫米 mm² |
5.63 31.7 |
3.97 15.76 |
1.62 2.62 |
1.62 2.62 |
0.7 0.49 |
0.81 0.66 |
0.32 0.10 |
0.16 0.03 |
垂直分辨率 | nm | 2300 | 450 | 250 | 100 | 80 | 50 | 20 | 10 |
高度步骤准确性(1毫米) | % | N.A. | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
最大限度。可测量的区域 | mm² | 40000 | 40000 | 40000 | 40000 | 24780 | 24780 | 3965 | 990 |
最小可测量的粗糙度(RA) | µm | 7 | 1.35 | 0.75 | 0.3 | 0.24 | 0.15 | 0.06 | 0.03 |
最小可衡量的粗糙度(SA) | µm | 3.5 | 0.675 | 0.375 | 0.15 | 0.12 | 0.075 | 0.03 | 0.015 |
最小可测量的半径 | µm | 20 | 12 | 5 | 5 | 3 | 3 | 2 | 1 |
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视频
与InfiniteFocus一起选择
测量解决方案选择和地点在英国的2019年高级工程展上展出。因此,光学测量系统InfiniteFocus通过协作机器人进行扩展,以自动选择,位置,测量和排序(OK/ NOT OK)组件。观看视频并查看自动测量解决方案。
焦点变化技术
Alicona测量系统基于焦点变化的技术,并结合了表面粗糙度测量设备和形式测量系统的功能。每种Alicona测量仪器都是表面测量设备,表面粗糙度测量系统,用于几何耐受和微坐标测量系统的3D测量系统。焦点变体技术结合了光学系统的小焦点和垂直扫描,以提供焦点变化的地形和颜色信息。系统的主要组件是一个精确的光学器件,其中包含各种镜头系统,这些系统可以配备不同的目标,从而允许测量不同的分辨率。