JVSENSUS-600F
X射线衍射成像（XRDI）检查系统
Lo más destacado
JVSensus-600F
JVSENSUS-600F是300mm SI设备制造商的X射线缺陷计量系统。它有助于使用最新的X射线衍射成像（XRDI）技术确定在晶圆生产过程中遇到的问题。应用包括监视边缘损坏，以防止超快速退火期间昂贵的晶圆损坏。它可以在任何技术节点上限定和监视处理工具，从而减少周期时间并促进Fab扩展。
características
Easily Identify Crystalline Defects
JVSensus使其用户能够识别晶片中的裂缝和其他缺陷，这可能会导致灾难性结构性故障，然后再发生破裂。一旦观察到缺陷，就可以执行非破坏性的横截面审查图像，以在晶圆深度内找到缺陷位置。
Measure on Patterned Wafers
可以在无需样品制备的情况下对毯子，图案化和金属化的晶片进行测量。即使晶圆上存在图案，也可以识别出缺陷。
Detect Slip
The major cause of overlay issues is slip. Whether it's a logic patterned wafer, GaN on Si or ingot slides, JVSensus can detect slip in minutes.
Soporte
支持
How Can We Help?
Bruker与我们的客户合作解决了现实世界中的应用程序问题。我们开发下一代技术，并帮助客户选择正确的系统和配件。在工具出售工具很久之后，这种合作伙伴关系继续通过培训和扩展服务。bob电竞官方网站
Our highly trained team of support engineers, application scientists and subject-matter experts are wholly dedicated to maximizing your productivity with system service and upgrades, as well as application support and training.