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微x射线荧光的一个关键好处是样品制备的最低要求。然而,必须为测量定义一个解析平面。许多样品不是完全平面的,也不能改变(例如重要的历史博物馆文物)。对于带有地形的样品的定性分析(例如地图或线扫描),部分表面将在焦平面之外。孔径管理系统(AMS)的目的是增加景深。就像光学成像——但原因非常不同——镜头前的光圈增加了景深。因此,即使对于地势较高的样品,大多数结构仍然在焦点上,即焦平面内。