半导体微芯片材料中的元素鉴定bob综合游戏

硅化钨是一种导电陶瓷材料,用于微芯片等微电子领域。硅化钨也可能作为耐火相出现在半导体材料中,如硅晶圆。bob综合游戏

为了在质量控制中实现微纳水平的高空间分辨率,分析必须在低加速电压下进行,这使得这些阶段的识别复杂化。在较低的加速电压下,只有钨M系列能量线与衬底Si Kα线严重重叠。

由此产生的主元素EDS峰略微展宽,并掩盖了第二相的存在。与此相反,像W这样的元素使用自信心来标识QUANTAX改进算法因为它的光谱分辨率很高。

在SDD的电子芯片上获得Si和W的x射线元素分布图
在能量范围为1.6 - 2.0 keV的硅化钨x射线光谱切片显示了WDS的高光谱分辨率