Xflash Fallquad.

Xflash.^®Flatquad，核心Quantax Flatquad.，基于新颖的探测器概念。这包括将检测器从杆件和样品之间的侧面定位。因此，检测器安装在SEM室的水平端口上。常规探测器很少延伸在极靴下方需要倾斜端口。为确保与许多不同的SEM类型的兼容性，检测器可以精确地定位在x，y和z方向上。

Xflash的四个独立硅漂移探测器芯片^®Fabrquad围绕探测器模块的孔围绕环形布置。主电子束通过该开口。这种设计，以及将探测器手指保持尽可能薄的意图需要一种新方法来防止反向散射的电子到达探测器芯片。探测器配有不同厚度的特殊聚合物窗口。它们吸收背散射电子，同时允许X射线通过。聚合物窗户安装在滑块中，该滑块允许改变它们而不影响真空。这使得SEM加速电压在检测器处于测量位置时变化。

位置和尺寸（4×15毫米²检测器芯片的有源区）为SEM中的X射线集合提供最大的实线。根据特定的几何条件，可以组合高于60°或更大的高出角度。收集效率可能导致极高的计数率。因此，所有四个探测器芯片都配备有单独的信号处理通道。这允许输入计数速率（ICR）高达4,000,000 CP和组合输出计数率（OCR）高达1,600,000 CPS。Xflash.^®Batrquad在MnKα和100,000个CPS输入计数率（在C K和60eV时，提供126eV的能量分辨率为126eV和100,000 eV）。还提供了129 ev和133 ev的分辨率类别。